El VersaProbe III es un instrumento multi-técnica altamente versátil con la fuente de rayos X de exploración, monocromática, micro-enfocada y patentada de PHI. El instrumento ofrece una verdadera facilidad de operación similar a SEM con espectroscopía de micro área superior y excelentes capacidades de área grande. La plataforma multi-técnica totalmente integrada del VersaProbe III ofrece una variedad de fuentes de excitación opcionales, fuentes de iones de pulverización catódica y capacidades de tratamiento y transferencia de muestras. Estas características son esenciales para estudiar los materiales avanzados de hoy y para apoyar sus necesidades de caracterización de materiales y resolución de problemas.